Nagy térfogatú berendezések (desztilláló tornyok, szeparátorok, sztripperek, gázmosók stb.) tisztítószerrel történő feltöltése sok esetben lehetetlen és/vagy gazdaságtalan. A gőzfázisú technológiánknál a berendezésbe folyamatosan gőz/vegyszer keveréket injektálunk. Az elegy teljesen kitölti a rendelkezésére álló teret és a folyamatosan elvezett lekondenzált gőz + vegyszer + szennyező anyag megtisztítja a berendezést.
A töltetek és az iszappal feltöltött tartályfenék már további tisztítást nem igényelnek.
